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Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)

Grundprinzip:

Zur Charakterisierung der Zusammensetzung kleinster Probenbereiche wird im Rasterelektronenmikroskop die charakteristische Röntgenstrahlung genutzt.

Dabei wird mit einem fokussierten Elektronenstrahl die Probenoberfläche zeilenweise abgerastert. Beim Auftreffen des Primärelektronenstrahls werden verschiedene Elektronen-Wechselwirkungen in einem birnenförmigen Bereich ausgelöst. Der Nachweis und die Analyse von Röntgenstrahlung mittels EDX (Energiedispersive Röntgenanalyse) erlaubt es, anhand der spezifischen Peaks des EDX-Spektrums die Existenz, Menge und Verteilung von Elementen auf der Probenoberfläche zu bestimmen.

Typische Einsatzbereiche der EDX-Analyse:

  • Qualitative und (halb)quantitative Elementanalytik (Materialtypisierung)
  • Ortsaufgelöste Analyse von Verunreinigungen und Rückständen
  • Ortsaufgelöste Analyse von Füll- und Verstärkungsstoffen
  • Punkt-, Linien- und Verteilungsmessung von Elementen

Ausstattung:

  • SDD-Detektor X‑Max50N der Fa. Oxford Instruments, gekoppelt mit einem hochauflösenden Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop vom Typ Supra 40VP der Fa. Carl Zeiss Microscopy
  • Software AZtecEnergy Advanced