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Topografie

Weißlichtinterferometer ermöglichen eine berührungslose, optische und flächenhafte Messung und Darstellung (3D) der Oberflächentopografie glatter bis moderat strukturierter Oberflächen. Durch Überlagerung des von der Probe reflektierten Lichts mit einer im Objektiv erzeugten Referenzwelle ergeben sich in einem kleinen Bereich um die optimale Fokuslage charakteristische Intensitätsvariationen im Kamerabild. Spezielle Algorithmen bestimmen daraus Profilhöhe und Interferenzkontrast.

Über den motorisierten X/Y-Verfahrbereich (50 mm x 50 mm) ist auch das Erstellen größerer zusammengesetzter Bildfelder durch Stitching möglich.

Topogrfie

Ergebnisse der Prüfmethode:

  • Darstellung der Oberflächentopografie
  • Rauheit, Ebenheit, Volumen
  • Häufigkeitsverteilungen als flächige Parameter
  • Diagrammdarstellung als Profilschnitt

Relevante Normen (Auszug):

DIN EN ISO 25178-2+3, DIN EN ISO 25178-604, DIN EN ISO 4288